Utvidet returrett til 31. januar 2025

Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System

Om Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System

Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data.

Vis mer
  • Språk:
  • Engelsk
  • ISBN:
  • 9784431547945
  • Bindende:
  • Paperback
  • Sider:
  • 40
  • Utgitt:
  • 17. februar 2014
  • Utgave:
  • 2014
  • Dimensjoner:
  • 155x235x0 mm.
  • Vekt:
  • 949 g.
  • BLACK NOVEMBER
  Gratis frakt
Leveringstid: 2-4 uker
Forventet levering: 19. desember 2024

Beskrivelse av Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System

Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data.

Brukervurderinger av Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System



Finn lignende bøker
Boken Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System finnes i følgende kategorier:

Gjør som tusenvis av andre bokelskere

Abonner på vårt nyhetsbrev og få rabatter og inspirasjon til din neste leseopplevelse.